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概要
● 空氣彈簧 + 疊層橡膠組成的結(jié)構(gòu)，其固有頻率縱向可達(dá)到 1.6 Hz
● 通過(guò)UNIT type將整體模型高度標(biāo)準(zhǔn)化為220 mm
● 反復(fù)精密度 ±100 以內(nèi)，安裝有雙層式高度調(diào)節(jié)閥門(mén)
● 對(duì)10 Hz以下低頻率的振動(dòng)控制效果很突出
特征
構(gòu)成及式樣
Model | AP-230 MKC | AP-270 MKC | AP-330 MKC |
Natural Frequency | Vertical : 1.5 Hz ~ 2.0 Hz / Horizontal : 1.0 Hz ~ 1.8 Hz |
Isolation | Air Suspension |
Damping | Damping by Orifice |
Leveling | Automatic Leveling by mechanical air valve (Positioning Tolerance : ±100 ) |
Dimension (mm) | 330 x 300 x 220 | 320 x 320 x 220 | 370 x 370 x 220 |
Weight (kg/unit) | 46 kg | 56 kg | 72 kg |
Payload (kgf/4unit) | 6,200 kgf | 8,600 kgf | 13,000 kgf |
D x E (mm) | 270 x 270 | 290 x 290 | 340 x 340 |
ΦF (mm) | ΦF 13 | ΦF 13 | ΦF 13 |
Air Pressure (MPa) | 0.5 MPa |
應(yīng)用領(lǐng)域及適用實(shí)例
● 半導(dǎo)體制造及檢測(cè)裝備● FPD 制造及檢測(cè)裝備
● 電子顯微鏡及原子顯微鏡 (SEM, TEM) )
● 激光加工裝置
● 精密STAGE裝置● 精密制造裝置
產(chǎn)品外形圖
